Сверхвысоковакуумные (UHV) манипуляторы (тип с двумя сильфонами)
PM 12
Привод
Привод шагового электродвигателя PM 12 ZS2
Привод
Привод шагового электродвигателя
PM 25
UHV прецизионный манипулятор PM 25
Привод
Привод шагового электродвигателя PM 25 ZS2
Привод
Привод шагового электродвигателя PM 25 S2
Опора
Горизонтальная опора для манипуляторов PM 12 и PM 25
Блок ввода
Блок ввода, 4-осевой манипулятор
Блок ввода
Блок ввода, 5-осевой манипулятор
Нагреватель
Нагреватель образца Al2O3
Держатель
Держатель образца для электронно-лучевого нагрева
PMAX 25
Сверхвысоковакуумный (UHV) манипулятор PMAX 25
Привод
Привод шагового двигателя PMAX 25 ZS2
Привод
Привод шагового двигателя PMAX 25 S2
PMEGA 25
Сверхвысоковакуумный (UHV) прецизионный манипулятор PMEGA 25
Привод
Привод шагового двигателя PMEGA 25 ZS2
Привод
Привод шагового двигателя PMEGA 25 S2
PMAKRO 12 S2