 
						Сверхвысоковакуумные (UHV) манипуляторы (тип с двумя сильфонами)
 
						PM 12
					 
						Привод
					Привод шагового электродвигателя PM 12 ZS2
 
						Привод
					Привод шагового электродвигателя
 
						PM 25
					UHV прецизионный манипулятор PM 25
 
						Привод
					Привод шагового электродвигателя PM 25 ZS2
 
						Привод
					Привод шагового электродвигателя PM 25 S2
 
						Опора
					Горизонтальная опора для манипуляторов PM 12 и PM 25
 
						Блок ввода
					Блок ввода, 4-осевой манипулятор
 
						Блок ввода
					Блок ввода, 5-осевой манипулятор
 
						Нагреватель
					Нагреватель образца Al2O3
 
						Держатель
					Держатель образца для электронно-лучевого нагрева
 
						PMAX 25
					Сверхвысоковакуумный (UHV) манипулятор PMAX 25
 
						Привод
					Привод шагового двигателя PMAX 25 ZS2
 
						Привод
					Привод шагового двигателя PMAX 25 S2
 
						PMEGA 25
					Сверхвысоковакуумный (UHV) прецизионный манипулятор PMEGA 25
 
						Привод
					Привод шагового двигателя PMEGA 25 ZS2
 
						Привод
					Привод шагового двигателя PMEGA 25 S2
 
						PMAKRO 12 S2